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申请/专利权人：苏州山河光电科技有限公司
摘要：本实用新型提供一种MEMS微镜及激光投影装置，MEMS微镜包括：平移框架；设于所述平移框架内的反射镜，所述反射镜包括反射面、设于所述反射面的超表面；第一弹性梁，所述第一弹性梁连接所述反射镜与所述平移框架；平移驱动结构，所述平移驱动结构用以驱动所述反射镜平移；一方面，通过超表面给光束叠加调制相位，从而降低激光束的空间相干性，能够更好地抑制散斑，且不会影响光路的准直性以及反射度；另一方面，所述平移驱动结构驱动反射镜高频的平移运动会在一定积分时间内产生大量不同的随机散斑图案，这些不同的随机散斑图案重叠叠加，能够降低散斑对比度，抑制散斑，具有较好的消散斑效果。
主权项：1.一种MEMS微镜，其特征在于：包括：平移框架；设于所述平移框架内的反射镜，所述反射镜包括反射面、设于所述反射面的超表面；第一弹性梁，所述第一弹性梁连接所述反射镜与所述平移框架；平移驱动结构，所述平移驱动结构用以驱动所述反射镜平移。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州山河光电科技有限公司 MEMS微镜及激光投影装置
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