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申请/专利权人：歌尔微电子股份有限公司
摘要：本发明涉及麦克风技术领域，尤其涉及一种MEMS麦克风及电子设备。该MEMS麦克风包括第一基板、第二基板、不透气防水膜、拾音MEMS芯片、均压件及压阻MEMS芯片，其中第一基板上设有用于接收外界声音信号的进声孔，不透气防水膜盖设于进声孔，不透气防水膜盖设于进声孔，第二基板盖设于第一基板并与第一基板围出声腔，第二基板设有均压孔和第一气压孔，拾音MEMS芯片连接第一基板并与声孔相对设置，压阻MEMS芯片封闭第一气压孔，均压件遮挡均压孔，均压件具有关闭状态和打开状态，用于调节声腔的气压。根据本发明的MEMS麦克风，不透气防水膜提供更为可靠的防水保护，同时，通过控制均压孔的开合来调整内外压力，防止了由于压力不平衡导致的不透气防水膜破裂。
主权项：1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：第一基板，所述第一基板上设有用于接收外界声音信号的进声孔，不透气防水膜，所述不透气防水膜盖设于所述进声孔；第二基板，所述第二基板盖设于所述第一基板并与所述第一基板围出声腔，所述第二基板设有均压孔和第一气压孔，所述第一气压孔和所述均压孔均与所述声腔相连通；拾音MEMS芯片，所述拾音MEMS芯片设于所述声腔内，所述拾音MEMS芯片连接所述第一基板并与所述声孔相对设置；压阻MEMS芯片，所述压阻MEMS芯片封闭所述第一气压孔；均压件，所述均压件与所述均压孔相对设置并遮挡所述均压孔，所述均压件具有关闭状态和打开状态，所述均压件与所述压阻MEMS芯片电连接，所述均压件根据所述压阻MEMS芯片测量的压力值在所述关闭状态和所述打开状态之间切换。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 歌尔微电子股份有限公司 MEMS麦克风及电子设备
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