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申请/专利权人：奈米科学仪器装备(杭州)有限公司
摘要：本发明公开了一种基于双频激光干涉仪的芯片外观检测系统和方法，光源，光源用于发射两束正交偏振的双频激光；偏振片，偏振片用于控制激光光源的偏振状态，确保光源的偏振方向统一；棱镜组件，棱镜组件包括分光棱镜与角锥棱镜，用与将来自光源的光进行分开或改变光线传播的方向；本发明利用双频激光干涉仪稳定性强、分辨率高、测量精度高等优点，设计了基于双频激光干涉仪的芯片外观检测系统；通过双频激光干涉仪的高精度位移测量反馈和控制位移台的高精度移动，结合高分辨率相机对样品表面进行拍摄，实现对芯片外观的缺陷检测；本发明设计的系统能够对芯片的微小缺陷进行细致的检测，适用于半导体制造过程中的质量控制。
主权项：1.一种基于双频激光干涉仪的芯片外观检测系统，其特征在于，包括：光源，光源用于发射两束正交偏振的双频激光；偏振片，偏振片用于控制激光光源的偏振状态，确保光源的偏振方向统一；棱镜组件，棱镜组件包括分光棱镜与角锥棱镜，用与将来自光源的光进行分开或改变光线传播的方向；光电探测器，光电探测器用于接收从待测样品表面反射回来的光，并将这些光信号转换为电信号；x-y-z位移台，x-y-z位移台用于调整待测样品的位置；显微物镜，显微物镜用于聚焦激光；准直扩束系统，准直扩束系统用于调整激光束的宽度和方向；图像传感器，图像传感器用于捕捉从待测样品反射回来的光的图像；计算机控制和处理系统，计算机控制和处理系统接收光电探测器和图像传感器的数据，并进行图像处理与分析。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 奈米科学仪器装备(杭州)有限公司 一种基于双频激光干涉仪的芯片外观检测系统和方法
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