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申请/专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所

摘要：本发明涉及干涉仪及其热补偿方法，以解决现有双通道多普勒差分干涉仪易产生热漂移，导致测量误差的技术问题。本发明提供的一种高热稳定性双通道多普勒差分干涉仪及其热补偿方法，干涉仪包括分光棱镜，干涉仪短臂包括沿第一出光面出光方向依次粘接的短臂棱镜间隔元件、短臂视场棱镜、短臂光栅间隔元件和短臂光栅；干涉仪长臂包括沿第二出光面出光方向依次粘接的长臂棱镜间隔元件、长臂视场棱镜、长臂光栅间隔元件和长臂光栅；短臂棱镜间隔元件和长臂棱镜间隔元件的材料和厚度均不相同；短臂视场棱镜和长臂视场棱镜的材料相同、厚度不相同；短臂光栅间隔元件和长臂光栅间隔元件的材料和厚度均相同；热补偿方法应用于上述干涉仪。

主权项：1.一种高热稳定性双通道多普勒差分干涉仪，其特征在于：包括带有入射面11、出射面12、第一出光面13和第二出光面14的分光棱镜1，分光棱镜1的截面为正方形；所述入射面11用于入射待测波，待测波经分光棱镜1后分为两束待测波，两束待测波分别从第一出光面13、第二出光面14射出；所述第一出光面13和第二出光面14上分别设有干涉仪短臂2、干涉仪长臂3；两束待测波分别经干涉仪短臂2、干涉仪长臂3后返回分光棱镜1，发生干涉后由出射面12射出；所述干涉仪短臂2包括沿第一出光面13出光方向依次粘接的短臂棱镜间隔元件21、短臂视场棱镜22、短臂光栅间隔元件23和短臂光栅24；所述短臂光栅24由上至下依次分为短臂上光栅241和短臂下光栅242，短臂上光栅241和短臂下光栅242的光栅刻线密度不同；所述干涉仪长臂3包括沿第二出光面14出光方向依次粘接的长臂棱镜间隔元件31、长臂视场棱镜32、长臂光栅间隔元件33和长臂光栅34；所述长臂光栅34由上至下依次分为长臂上光栅341和长臂下光栅342，长臂上光栅341和长臂下光栅342的光栅刻线密度不同；所述短臂上光栅241和短臂下光栅242的分界面，以及长臂上光栅341和长臂下光栅342的分界面分别将干涉仪短臂2、干涉仪长臂3分为上部通道、下部通道；所述干涉仪短臂2的上部通道和干涉仪长臂3的上部通道组成第一探测通道，干涉仪短臂2的下部通道和干涉仪长臂3的下部通道组成第二探测通道；所述短臂棱镜间隔元件21和长臂棱镜间隔元件31的材料和厚度均不相同；所述短臂视场棱镜22和长臂视场棱镜32的材料相同、厚度均不相同；所述短臂光栅间隔元件23和长臂光栅间隔元件33的材料和厚度均相同。

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