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一种光解膜巨量转移方法 

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申请/专利权人:日月新半导体(苏州)有限公司

摘要:本发明公开了一种光解膜巨量转移方法,属于光解膜巨量转移技术领域,其包括底板,所述底板上设有竖板,所述底板上设有操作台,所述竖板的一侧固定连接有传送电机,所述传送电机的输出端固定连接有第一转动辊,所述第一转动辊上设有传送带,所述传送带的一端设有第二传送辊,所述操作台的一侧固定连接有夹紧气缸,所述夹紧气缸的输出端固定连接有推板,本发明通过启动传送电机可以使传送带传送基板,然后通过启动夹紧气缸使推板配合夹紧板将基板固定,保证了在进行巨量转移使基板的稳定,可以更精确的进行定位,同时夹紧板压缩复位弹簧在进行固定基板时可以提供一定的缓冲,防止将基板压坏,且在推板放松时复位弹簧会推动基板,使其正常传送。

主权项:1.一种光解膜巨量转移方法,其特征在于:所述巨量转移采用的设备,包括底板1,所述底板1上设有竖板2,所述底板1上设有操作台3,所述竖板2的一侧固定连接有传送电机4,所述传送电机4的输出端固定连接有第一转动辊5,所述第一转动辊5上设有传送带6,所述传送带6的一端设有第二传送辊7,所述操作台3的一侧固定连接有夹紧气缸8,所述夹紧气缸8的输出端固定连接有推板9,所述操作台3上固定连接有方形板10,所述方形板10上贯穿滑动连接有滑动杆11,所述滑动杆11的一端固定连接有夹紧板12,所述滑动杆11的另一端固定连接有限位块13,所述滑动杆11上套接有复位弹簧14。

全文数据:

权利要求:

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