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申请/专利权人：苏州感测通信息科技有限公司
摘要：本实用新型揭示了一种全解耦三轴微机械陀螺仪，其中驱动机构中各离散型驱动框架通过驱动耦合模组依次相连成环状，并在驱动机构外侧接设具有独立质量块的Z轴检测机构，在驱动机构内侧依托于各驱动框架分布设置相互对称的两个X轴检测机构和相互对称的两个Y轴检测机构。应用该全解耦三轴微机械陀螺仪，利用驱动耦合模组将驱动伴生模态放大，极大地增强了陀螺仪的抗振动性；通过对Z轴机械全解耦的设计，使驱动过程对Z轴信号的耦合度降至最低，提高了Z轴的测量精度与稳定性；三轴质量块独立设置，有效降低了各轴之间输出信号的串扰。
主权项：1.全解耦三轴微机械陀螺仪，以衬底为基础分布设有中心弹性机构、驱动机构和三轴检测机构，其特征在于：以中心弹性机构为参照中心，所述驱动机构包括相互对称的第一驱动框架、第二驱动框架和相互对称的第三驱动框架和第四驱动框架，并通过驱动耦合模组将所述第一驱动框架、第四驱动框架、第二驱动框架和第三驱动框架按顺时针方向依次相连成环状；在驱动机构外侧接设有Z轴检测机构；在驱动机构内侧接设有X轴检测机构模组和Y轴检测机构模组，其中所述X轴检测机构模组包括设于第一驱动框架内侧的第一X轴检测机构和设于第二驱动框架内侧的第二X轴检测机构，所述Y轴检测机构模组包括设于第三驱动框架内侧的第一Y轴检测机构和设于第四驱动框架内侧的第二Y轴检测机构。
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权利要求：
百度查询： 苏州感测通信息科技有限公司 全解耦三轴微机械陀螺仪
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