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申请/专利权人：三星电子株式会社
摘要：提供了一种多层薄膜结构和使用多层薄膜结构的相移器件。多层薄膜结构包括交替堆叠的至少一个结晶防止层和至少一个电介质层。至少一个结晶防止层包括非晶材料，并且至少一个结晶防止层的厚度小于至少一个电介质层的厚度。
主权项：1.一种多层薄膜结构，包括：至少一个结晶防止层；以及至少一个电介质层，其中，所述至少一个结晶防止层包括非晶材料，其中，所述至少一个结晶防止层的厚度小于所述至少一个电介质层的厚度，并且其中，所述至少一个结晶防止层和所述至少一个电介质层交替地堆叠，其中，全部的所述至少一个结晶防止层的厚度的总和小于或等于全部的所述至少一个电介质层和全部的所述至少一个结晶防止层的总厚度的5％。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星电子株式会社 多层薄膜结构和使用多层薄膜结构的相移器件
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