龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：华灿光电(苏州)有限公司
摘要：本公开提供了一种发光二极管外延片的加工方法，属于半导体技术领域。加工方法包括：提供一外延片；在外延片的表面涂覆一层光刻胶；根据外延片的类型，在外延片表面设置不同类型的光刻版；通过光刻版对外延片进行曝光显影，在外延片的有效芯片区域形成图案；去除光刻胶；检查外延片的有效芯片区域内的图案是否满足要求；若外延片的有效芯片区域内的图案满足要求，对外延片进行刻蚀、腐蚀、或蒸镀处理，以去除外延片的无效芯片区域。采用该加工方法，无需人工吸除无效管芯区域，避免了人工吸除无效管芯造成的人力浪费、以及后道加吸去圈造成的管芯浪费，有效的提高了芯片制程的效率，自动去除LED外延片外圈的无效管芯区域。
主权项：1.一种发光二极管外延片的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括：提供一外延片，所述外延片包括有效芯片区域和无效芯片区域；在所述外延片的表面涂覆一层光刻胶；根据所述外延片的类型，在所述外延片表面设置不同类型的光刻版，所述光刻版包括一环状本体，所述环状本体中部的镂空区域的形状和面积与所述外延片的有效芯片区域的形状和面积相同，且所述环状本体遮挡住所述外延片的无效芯片区域，所述环状本体的内壁上具有沿所述环状本体的周向等距间隔布置的八个凸起，所述八个凸起均沿所述环状本体的径向向内延伸，每个所述凸起的横截面均为梯形；通过所述光刻版对所述外延片进行曝光显影，在所述外延片的有效芯片区域形成图案；去除所述光刻胶；检查所述外延片的有效芯片区域内的图案是否满足要求；若所述外延片的有效芯片区域内的图案满足要求，对所述外延片进行刻蚀、腐蚀、或蒸镀处理，以去除所述外延片的无效芯片区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华灿光电(苏州)有限公司 发光二极管外延片的加工方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号