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申请/专利权人：广州粤升半导体设备有限公司
摘要：本发明实施例提供了一种输气装置及外延设备，其中，输气装置包括腔室主体、分气座、整流板和进气管道。腔室主体具有进气口和出气口，出气口用以与反应室连接，腔室主体内部形成有连接进气口和出气口的输气腔；分气座设置在腔室主体的进气口处，并覆盖进气口，分气座与腔室主体固定连接；分气座上设有导气孔；整流板固定设置在腔室主体和分气座之间，并覆盖进气口；整流板和分气座之间形成有匀气腔；整流板上设有多个连通匀气腔和输气腔的整流孔；整流孔为渐扩形孔；渐扩形孔朝向腔室主体的开口，大于其远离腔室主体的开口；进气管道的一端与导气孔固定连接，另一端与气源连接。本申请实施例的输气装置，可在反应室中获得稳定的流场。
主权项：1.一种输气装置，其特征在于，用以向反应室输送气体，所述输气装置包括：腔室主体100，所述腔室主体100具有进气口110和出气口120，所述出气口120用以与所述反应室连接，所述腔室主体100内部形成有连接所述进气口110和所述出气口120的输气腔130；分气座200，所述分气座200设置在所述腔室主体100的进气口110处，并覆盖所述进气口110，所述分气座200与所述腔室主体100固定连接；所述分气座200上设有导气孔210；整流板300，所述整流板300固定设置在所述腔室主体100和所述分气座200之间，并覆盖所述进气口110；所述整流板300和所述分气座200之间形成有匀气腔250；所述整流板300上设有多个连通所述匀气腔250和所述输气腔130的整流孔310；所述整流孔310为渐扩形孔；所述渐扩形孔朝向所述腔室主体100的开口，大于其远离所述腔室主体100的开口；进气管道400，所述进气管道400的一端与所述导气孔210固定连接，另一端与气源连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州粤升半导体设备有限公司 一种输气装置及外延设备
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