龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：湖南联合半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种外延治具的安装结构，包括定位轴1和石墨托盘2，所述定位轴1位于所述石墨托盘2的下方且定位于所述石墨托盘2的中心，其特征在于，所述定位轴1的顶端为弧顶结构，所述石墨托盘2下表面的中心具有与所述弧顶结构相配合的凹槽3。本实用新型有利于避免石墨托盘旋转过程中容易出现不平稳、磨损等情况，避免或者减少磨损带来的掉粉污染晶圆表面的问题。
主权项：1.一种外延治具的安装结构，包括定位轴1和石墨托盘2，所述定位轴1位于所述石墨托盘2的下方且定位于所述石墨托盘2的中心，其特征在于，所述定位轴1的顶端为弧顶结构，所述石墨托盘2下表面的中心具有与所述弧顶结构相配合的凹槽3。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南联合半导体科技有限公司 一种外延治具的安装结构
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号