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申请/专利权人：安徽格恩半导体有限公司
申请日：2023-11-28
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221281405U
主分类号：G03F7/30
分类号：G03F7/30
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型公开了一种晶圆手动显影装置，包括提竿机构和置于提竿机构上的晶圆定位组合件，所述晶圆定位组合件包括晶圆限位机构和定位机构，所述定位机构上设有水平容置14片晶圆的定位槽，所述晶圆限位机构包括设置在提竿机构末端的圆盘，所述圆盘外周面均布多个伸出杆，所述定位机构设置在显影盘上，作业时，上拉提竿机构，旋转相应的角度，松开提竿机构后晶圆限位机构与定位机构形成定位关系，晶圆限位机构的伸出杆会与定位机构的定位槽形成限位关系。本实用新型晶圆显影过程中是水平放置在显影液内，不会受到溶液槽内液位压强等其他因素的影响，从而保证晶圆表面的光刻胶显影均匀性。
主权项：1.一种晶圆手动显影装置，包括提竿机构1和置于提竿机构1上的晶圆定位组合件，其特征在于，所述晶圆定位组合件包括晶圆限位机构2和定位机构3，所述定位机构3上设有水平容置14片晶圆4的定位槽31，所述晶圆限位机构2包括设置在提竿机构1末端的圆盘21，所述圆盘21外周面均布多个伸出杆22，所述定位机构3设置在显影盘5上，作业时，上拉提竿机构1，旋转相应的角度，松开提竿机构1后晶圆限位机构2与定位机构3形成定位关系，晶圆限位机构2的伸出杆22会与定位机构3的定位槽31形成限位关系，防止晶圆4在显影溶液槽及冲水水槽内受溶液外力冲击后发生碰撞。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽格恩半导体有限公司 一种晶圆手动显影装置
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