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申请/专利权人：合肥开悦半导体科技有限公司
摘要：实用新型公开了一种加热模组、热板及涂胶显影机，该加热模组包括加热腔、热板盖和加热模组，所述加热模组包括热芯组件，所述热芯组件包括呈上下叠放设置的上层热芯和下层热芯，晶圆位于所述上层热芯上，所述上层热芯的加热精度高于所述下层热芯的加热精度，所述上层热芯和所述下层热芯之间相互导热。通过设置上层热芯和下层热性的组合加热模块，且上层热芯和下层热芯之前热量可以传递，相较于传统的单一加热芯加热精度搞的同时，可以延长上层高精度热芯的使用寿命。因为加热丝组件一在加热丝组件二加热的基础上进行精准加热，这样可以使加热丝组件一的功率设置的较小，从而减少高精度加热丝的损耗。
主权项：1.一种加热模组，其特征在于：包括热芯组件，所述热芯组件包括呈上下叠放设置的上层热芯和下层热芯，晶圆位于所述上层热芯上，所述上层热芯的加热精度高于所述下层热芯的加热精度，所述上层热芯和所述下层热芯之间相互导热。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥开悦半导体科技有限公司 一种加热模组、热板及涂胶显影机
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