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申请/专利权人：盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司
摘要：本实用新型提供一种晶圆驱动定位装置，包括晶圆托盘，晶圆托盘的两侧分别可转动连接有第一传动臂和第二传动臂，还包括依次排列安装的第一磁性联轴器、第二磁性联轴器、第二驱动电机和第一驱动电机，第一磁性联轴器包括第一内磁圈和第一外磁圈，第二磁性联轴器包括第二内磁圈和第二外磁圈；第一驱动电机的电机轴穿过第二驱动电机的电机轴，并且连接于第一内磁圈；第二驱动电机的电机轴连接于第二内磁圈；第一传动臂连接于第一外磁圈，第二传动臂连接于第二外磁圈。本实用新型通过双电机分别直接驱动两个磁性联轴器，保证了两个磁性联轴器的同轴度，从而减少了传动环节，消除了不可避免的齿侧间隙，提高了传动精度，有利于保证晶圆沉积工艺的一致性。
主权项：1.一种晶圆驱动定位装置，包括晶圆托盘9、第一传动臂1和第二传动臂2，所述晶圆托盘9的两侧分别可转动连接有第一传动杆91和第二传动杆92，所述第一传动杆91可转动连接于所述第一传动臂1，所述第二传动杆92可转动连接于所述第二传动臂2，其特征在于，还包括依次排列安装的第一磁性联轴器3、第二磁性联轴器4、第二驱动电机5和第一驱动电机6，所述第一磁性联轴器3包括第一内磁圈31和第一外磁圈32，所述第二磁性联轴器4包括第二内磁圈41和第二外磁圈42；所述第一驱动电机6的电机轴穿过所述第二驱动电机5的电机轴，并且连接于所述第一内磁圈31；所述第二驱动电机5的电机轴连接于所述第二内磁圈41；所述第一传动臂1连接于所述第一外磁圈32，所述第二传动臂2连接于所述第二外磁圈42。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司 一种晶圆驱动定位装置
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