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申请/专利权人：浙江曜创科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆检测装置，涉及晶圆检测技术领域，用以解决现有晶圆检测装置不便于对晶圆进行翻转检测问题，包括底座、第一支撑板、第二支撑板、U形框、晶圆本体、竖杆、横杆以及检测器，所述U形框中部连接晶圆本体，所述检测器对晶圆本体进行检测，所述第一转动杆活动连接第一连接孔，所述第一转动杆上固定安装第一限位环，所述第二转动杆活动连接第二连接孔，所述第二转动杆上固定连接第二限位环，所述第二转动杆右侧固定连接第一螺丝杆，所述第一螺丝杆上连接与之适配的第一螺帽，本实用新型能够实现对晶圆本体进行竖直方向的翻转，从而减少了工作量，同时能够避免多次操作对晶圆本体造成的损坏。
主权项：1.一种晶圆检测装置，包括底座1、第一支撑板2、第二支撑板3、U形框4、晶圆本体5、竖杆6、横杆7以及检测器8，所述底座1左侧顶部固定连接第一支撑板2，所述底座1右侧顶部固定连接第二支撑板3，所述第一支撑板2以及第二支撑板3之间设有U形框4，所述U形框4中部连接晶圆本体5，所述底座1后侧顶部固定连接竖杆6，所述竖杆6顶部前侧固定连接横杆7，所述横杆7底部设有检测器8，所述检测器8对晶圆本体5进行检测，其特征在于：所述第一支撑板2上开设第一连接孔9，所述第二支撑板3上开设第二连接孔10，所述U形框4左侧固定连接第一转动杆11，所述U形框4右侧固定连接第二转动杆12，所述第一转动杆11活动连接第一连接孔9，所述第一转动杆11上固定安装第一限位环13，所述第一限位环13数量共计两个，所述第二转动杆12活动连接第二连接孔10，所述第二转动杆12上固定连接第二限位环14，所述第二转动杆12右侧固定连接第一螺丝杆15，所述第一螺丝杆15上连接与之适配的第一螺帽16。
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