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申请/专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日：2024-04-10
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118292094A
主分类号：C30B15/00
分类号：C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：本申请公开了一种晶体生长炉，其包括机架、主炉室、副炉室和提拉组件，副炉室包括副炉体和副炉门，副炉体具有侧向的开口，副炉门用于封闭开口，提拉组件设于副炉室的上方，用于提拉晶棒；副炉室还包括气压检测组件和保护组件，气压检测组件至少部分设于副炉室内，用于检测副炉体内的气压；保护组件至少部分设于副炉体上，并与气压检测组件电连接，保护组件包括向副炉体内延伸的伸缩机构以及驱动伸缩机构的驱动机构，当气压检测组件检测到副炉室内的气压低于设定阈值时，驱动机构驱动伸缩机构伸出，以使伸缩机构至少部分挡设在晶棒和开口之间。通过上述设置，避免晶棒在拾取过程中脱落，降低生产风险。
主权项：1.一种晶体生长炉，包括：机架，所述机架用于支撑所述晶体生长炉；主炉室，所述主炉室设于所述机架的上方；副炉室，所述副炉室与所述主炉室连接，所述副炉室包括副炉体和副炉门，所述副炉体具有侧向的开口，所述副炉门与所述副炉体活动连接，所述副炉门用于封闭所述开口；提拉组件，所述提拉组件设于所述副炉室的上方，用于提拉晶棒；其特征在于，所述副炉室还包括：气压检测组件，所述气压检测组件至少部分设于所述副炉室内，用于检测所述副炉体内的气压；保护组件，所述保护组件至少部分设于所述副炉体上，并与所述气压检测组件电连接，所述保护组件包括向所述副炉体内延伸的伸缩机构以及驱动所述伸缩机构的驱动机构，当所述气压检测组件检测到所述副炉室内的气压低于设定阈值时，所述驱动机构驱动所述伸缩机构伸出，以使所述伸缩机构至少部分挡设在所述晶棒和所述开口之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江晶盛机电股份有限公司 晶体生长炉
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