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申请/专利权人：连城凯克斯科技有限公司
摘要：本发明是一种晶体生长炉副炉室双轴自动调平机构，其结构包括副炉室提升臂、副炉室、X轴调节机构和Y轴调节机构，其中副炉室提升臂通过Y轴调节机构连接副炉室连接件，副炉室连接件通过X轴调节机构连接副炉室。在副炉室升降及旋转过程中，副炉室相对于垂直方向发生偏移时，通过X轴调节机构和Y轴调节机构进行调节，使副炉室保持垂直状态，避免晶棒刮蹭副炉室内壁现象发生。本发明的优点：结构设计合理，设置了X轴、Y轴双轴副炉室自平衡机构，可在副炉室倾斜时在X轴、Y轴2个方向进行微调，可有效避免晶棒刮蹭的情况出现，提高设备的精度、安全性及自动化程度。
主权项：1.一种晶体生长炉副炉室双轴自动调平机构，其特征在于，包括副炉室提升臂（1）、副炉室（4）、X轴调节机构和Y轴调节机构，其中副炉室提升臂（1）通过Y轴调节机构连接副炉室连接件（2），副炉室连接件（2）通过X轴调节机构连接副炉室（4）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 连城凯克斯科技有限公司 一种晶体生长炉副炉室双轴自动调平机构
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