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申请/专利权人：唯捷创芯(天津)电子技术股份有限公司
摘要：本实用新型涉及集成电路制造领域，具体公开一种异质结双极晶体管钝化层和晶体管产品，该钝化层包括至少二层介质保护层和氮化硅层；所述至少二层介质保护层位于所述异质结双极晶体管的器件面与氮化硅层之间。本实用新型提出的异质结双极晶体管钝化层，通过在异质结双极晶体管的器件面与氮化硅层之间设置至少一层介质保护层，不但实现了异质结双极晶体管的水汽防护，同时，也解决了异质结双极晶体管的器件面与氮化硅层之间的应力缓冲问题。
主权项：1.一种异质结双极晶体管钝化层，其特征在于，包括至少二层介质保护层和氮化硅层；所述至少二层介质保护层位于所述异质结双极晶体管的器件面与氮化硅层之间。
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