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申请/专利权人：中国计量科学研究院
申请日：2021-12-14
公开（公告）日：2024-05-03
公开（公告）号：CN114334603B
主分类号：H01J49/14
分类号：H01J49/14;G01N27/68
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.03#授权;2022.04.29#实质审查的生效;2022.04.12#公开
摘要：本发明涉及质谱系统技术领域，提供一种辉光放电电子轰击电离源质谱系统，包括：辉光放电室，包括阴极板、阳极板、筒体及第一加压组件，筒体设置为两端开口的中空结构，阴极板和阳极板分别设置于筒体的两端，且三者围成腔体结构，第一加压组件用于使阴极板的电势低于阳极板的电势以形成电势差，腔体结构上设有进气口以及电子出射口；电离室，设有气体分子进样口、电子入射口及离子排放口，气体分子进样口供待检测气体进入，电子入射口与电子出射口相连接；质量分析器，第一端与离子排放口连接；检测器，与质量分析器的第二端连接。利用低气压下高压电场形成的辉光放电所产生的电子轰击电离源，避免了贵金属丝的使用，无需耗材，使用寿命更长。
主权项：1.一种辉光放电电子轰击电离源质谱系统，其特征在于，包括：辉光放电室，包括阴极板、阳极板、筒体及第一加压组件，所述筒体设置为两端开口的中空结构，所述阴极板和所述阳极板分别设置于所述筒体的两端，且三者围成腔体结构，所述第一加压组件用于使所述阴极板的电势低于所述阳极板的电势以形成电势差，所述腔体结构上设有进气口以及电子出射口；电离室，设有气体分子进样口、电子入射口及离子排放口，所述气体分子进样口供待检测气体进入，所述电子入射口与所述电子出射口相连接；质量分析器，第一端与所述离子排放口连接；检测器，与所述质量分析器的第二端连接；还包括第二加压组件；所述第二加压组件用于调整所述阳极板和所述电离室之间的电势差，且使所述阳极板的电势低于所述电离室的电势；第二加压组件包括直流可调电源，所述直流可调电源能够调节所述阳极板与所述电离室之间的电场大小。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国计量科学研究院 辉光放电电子轰击电离源质谱系统
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