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申请/专利权人：上海哥瑞利软件股份有限公司
申请日：2022-03-31
公开（公告）日：2024-02-20
公开（公告）号：CN114850162B
主分类号：B08B13/00
分类号：B08B13/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.02.20#授权;2022.08.23#实质审查的生效;2022.08.05#公开
摘要：本发明公开了一种基于半导体12寸MES系统的FOUPClean的自动化流程设计系统，包括载具管理模块CMS、搬运模块GTM、自动化模块AUTO，所述载具管理模块管理载具的状态，包括载具的使用次数以及载具的使用时间，所述搬运模块负责与载具管理模块CMS协作在载具状态Dirty需要清洗时驱动载具的搬运，所述自动化模块负责与自动化软件EAP协作把载具清洗在设备上自动执行起来。本发明采用以载具为中心的自动化异常处理流程设计，能够100％达到自动化清洗流程标准。在本发明使用之后，12寸半导体生产无尘室可以达到“关灯”效果，无尘室内不需要操作员。
主权项：1.一种基于半导体12寸MES系统的FOUPClean的自动化流程设计系统，其特征在于，包括载具管理模块、搬运模块、自动化模块，所述载具管理模块管理载具的状态，包括载具的使用次数以及载具的使用时间，所述搬运模块负责与载具管理模块协作在载具状态Dirty时驱动载具的搬运，所述自动化模块负责与自动化软件协作把载具清洗在设备上自动执行起来，所述自动化模块包含FOUPCLEAN的接口供EAP使用。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海哥瑞利软件股份有限公司 半导体12寸MES系统中FOUP Clean的自动化流程设计方法及系统
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