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申请/专利权人：合肥欣奕华智能机器股份有限公司
摘要：本发明属于半导体设备技术领域，更具体地，涉及一种FOUP锁紧装置。该装置包括固定单元、驱动单元和锁扣单元，所述驱动单元两端分别于固定单元和锁扣单元连接，驱动单元工作时，锁扣单元和驱动单元一起旋转；所述FOUP锁紧装置用于将FOUP锁在装载口的装载桌面上，装载桌面上设置有固定支撑面板，所述FOUP锁紧装置固定在固定支撑面板上。本装置运动时气缸杆与锁扣固定点在同一方向，气缸为收缩状态,可有效利用气缸性能。同时在FOUP锁紧状态时，从竖直方向来看，锁扣固定位置略超过锁扣底部固定点位置，通过气缸收缩力，可更加有效锁紧FOUP。本装置的固定单元均为上部固定，在实际应用中更加便利。
主权项：1.一种FOUP锁紧装置，其特征在于，该装置包括固定单元、驱动单元和锁扣单元，所述驱动单元两端分别于固定单元和锁扣单元连接，驱动单元工作时，锁扣单元和驱动单元一起旋转；所述FOUP锁紧装置用于将FOUP锁在装载口的装载桌面上，装载桌面上设置有固定支撑面板，所述FOUP锁紧装置固定在固定支撑面板上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥欣奕华智能机器股份有限公司 一种FOUP锁紧装置
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