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申请/专利权人：上海赛瑾精密科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种运用于晶圆载具FOUP充气阀转换机构，包括FOUP箱体，FOUP箱体底部设有底板，底板的底部设有进气阀，进气阀内设有转换机构，转换机构包括单向阀、橡胶阀塞、过滤膜组件、固定盖、转换阀扣盖、盒体、橡胶固定件、转换阀阀体和滤管，单向阀设置在橡胶阀塞内部，过滤膜组件和橡胶阀塞设置在固定盖内部，固定盖设置在转换阀扣盖的底部，转换阀扣盖设置在盒体的底部，转换阀阀体和橡胶固定件设置在盒体的顶部，滤管设置在橡胶固定件的顶部。该种装置通过设计一种转换机构，可以根据设备的情况来换不同的位置，来满足各种设备机台的匹配，这种转换机构安装简单有效，安全方便快捷可靠，还可以快速更换维修，适配不同的设备，适用范围广。
主权项：1.一种运用于晶圆载具FOUP充气阀转换机构，其特征在于：包括FOUP箱体1，所述FOUP箱体1底部设有底板2，所述底板2的底部设有进气阀3，所述进气阀3内设有转换机构4；所述转换机构4包括单向阀5、橡胶阀塞6、过滤膜组件7、固定盖8、转换阀扣盖9、盒体10、橡胶固定件11、转换阀阀体12和滤管14，所述单向阀5设置在橡胶阀塞6内部，所述过滤膜组件7和橡胶阀塞6设置在固定盖8内部，所述固定盖8设置在转换阀扣盖9的底部，所述转换阀扣盖9设置在盒体10的底部，所述转换阀阀体12和橡胶固定件11设置在盒体10的顶部，所述滤管14设置在橡胶固定件11的顶部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海赛瑾精密科技有限公司 一种运用于晶圆载具FOUP充气阀转换机构
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