龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：上海合晶硅材料股份有限公司
申请日：2023-12-08
公开（公告）日：2024-01-23
公开（公告）号：CN117438289A
主分类号：H01L21/02
分类号：H01L21/02;B08B3/08;B08B3/14
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.02.09#实质审查的生效;2024.01.23#公开
摘要：本发明公开了一种新型的RCA清洗机HARDCLEAN工艺，HARDCLEAN程序包括：热处理前清洗、多晶前清洗、背封前清洗、抛光前清洗、抛光后清洗和最终清洗，通过HARDCLEAN程序从每两个月执行一次调整为每个月执行一次，每次滤芯更换时，不再全部更换为全新滤芯，仅需最终出货前清洗机的第二个SC1系统和SC2系统更换全新滤芯，将换下来的滤芯也不抛弃，分别安装于前一个对应的SC1或SC2系统，依此逐级往前降级使用，仅抛弃热处理前清洗第一个SC1滤芯和SC2滤芯；相较传统HAEDCLEAN工艺，新HARDCLEAN程序从每两个月执行一次调整为每个月执行一次，各清洗机台系统更洁净，每次执行时全新滤芯使用量从18支减少为2支，年度全新滤芯使用量从108支减少为24支；节约滤芯成本。
主权项：1.一种新型的RCA清洗机HARDCLEAN工艺，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：HARDCLEAN程序从每两个月执行一次调整为每个月执行一次；步骤2：每次滤芯更换时，不再全部更换为全新滤芯，仅需最终出货前清洗机的第二个SC1系统和SC2系统更换全新滤芯；步骤3：将换下来的滤芯也不抛弃，分别安装于前一个对应的SC1或SC2系统，依此逐级往前降级使用，仅抛弃热处理前清洗第一个SC1滤芯和SC2滤芯。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海合晶硅材料股份有限公司 一种新型的RCA清洗机HARD CLEAN工艺
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号