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摘要：一种半导体测量设备包括：照明单元；光接收单元；以及控制单元，其被配置为：生成表示原始图像的预测等式，其中，预测等式基于米勒矩阵的多个元素，将米勒矩阵的多个元素中的每一个近似到包括泽尔尼克多项式的基和系数的多项式，基于系数之和以及预测等式和原始图像之间的差来生成优化系数，基于优化系数和最小值确定优化条件是否被满足，以及当优化条件被满足时基于优化系数和基来选择尺寸。
主权项：1.一种半导体测量设备，包括：照明单元，其包括光源和在由所述光源发射的光的第一行进路径上的至少一个照明偏振元件；光接收单元，其包括在穿过所述至少一个照明偏振元件并从样品反射的光的第二行进路径上的至少一个光接收偏振元件，其中，所述光接收单元包括图像传感器，其被配置为接收穿过所述至少一个光接收偏振元件的光并输出原始图像；以及控制单元，其被配置为：生成表示所述原始图像的预测等式，其中，所述预测等式基于米勒矩阵的多个元素，将所述米勒矩阵的所述多个元素中的每一个近似到包括泽尔尼克多项式的基和系数的多项式，基于所述系数的和以及所述预测等式和所述原始图像之间的差来生成优化系数，基于所述优化系数和最小值确定优化条件是否被满足，以及当所述优化条件被满足时，基于所述优化系数和所述基来确定尺寸。
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