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摘要：本发明的研磨液，其含有磨粒、具有选自由羧基及羧酸盐基团组成的组中的至少一种的醚化合物及水。一种研磨液套组，其将该研磨液的构成成分分为第一液和第二液来保存，第一液包含磨粒及水，第二液包含具有选自由羧基及羧酸盐基团组成的组中的至少一种的醚化合物及水。一种研磨方法，其包括使用该研磨液对包含氧化硅的被研磨面进行研磨的工序。
主权项：1.一种研磨液，其含有磨粒、具有选自由羧基及羧酸盐基团组成的组中的至少一种的醚化合物及水。
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百度查询： 株式会社力森诺科 研磨液、研磨液套组及研磨方法
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