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摘要：本实用新型提供一种研磨垫修整器及化学机械研磨设备，包括具有不同修整区的修整盘及清洗结构，其中，修整盘包括N个不同的修整区，N≥2且为整数，各修整区之间具有隔离槽，且不同的修整区提供不同的粗糙度；清洗结构包括喷嘴，且喷嘴设置于隔离槽内，以提供清洗液。本实用新型可满足研磨垫对修整盘的多样化需求，实现修整盘的归一化，且可实现磨损物的及时清理。
主权项：1.一种研磨垫修整器，其特征在于，所述研磨垫修整器包括：修整盘，所述修整盘包括N个不同的修整区，N≥2且为整数，各所述修整区之间具有隔离槽，且不同的所述修整区提供不同的粗糙度；清洗结构，所述清洗结构包括喷嘴，所述喷嘴设置于所述隔离槽内，以提供清洗液。
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百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 研磨垫修整器及化学机械研磨设备
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