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摘要：一种涡电流传感器、涡电流传感器组装体和研磨装置，与以往相比，改善了涡电流传感器的检测线圈的灵敏度。涡电流传感器210具有磁性体、检测线圈34、校正线圈166和励磁线圈。励磁线圈以包围磁性体的第一柱部和或外壁部的方式卷绕，在导电膜产生涡电流。检测线圈34和校正线圈166以包围第一柱部和或外壁的方式卷绕，以检测在导电膜产生的涡电流的变化。在导电膜生成的涡电流变化时的校正线圈166的输出信号的变化量比检测线圈34的输出信号的变化量少。校正线圈166的一端与检测线圈34的一端直接连接，校正线圈的另一端和检测线圈的另一端与阻抗变换器124或放大器直接连接。
主权项：1.一种涡电流传感器，其特征在于，具备：磁性体，该磁性体具备底部、从所述底部的中央延伸的第一柱部及从所述底部的周边部延伸的外壁部；励磁线圈，该励磁线圈以包围所述第一柱部和或所述外壁部的方式卷绕，在导电膜产生涡电流；以及检测线圈和校正线圈，该检测线圈和校正线圈以包围所述第一柱部和或所述外壁部的方式卷绕，检测在所述导电膜生成的所述涡电流的变化，在所述导电膜生成的所述涡电流变化时的所述校正线圈的输出信号的变化量比所述检测线圈的输出信号的变化量少，所述校正线圈的一端与所述检测线圈的一端直接连接，所述校正线圈的另一端和所述检测线圈的另一端与阻抗变换器或放大器直接连接。
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百度查询： 株式会社荏原制作所 涡电流传感器、涡电流传感器组装体和研磨装置
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