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摘要：本实用新型公开了一种晶圆级持置机构及运输装置，用于取放晶圆组件；包括：第一连接件；支架，与所述第一连接件相接，所述支架和所述第一连接件之间设有第一调节结构，所述第一调节结构适于驱使所述支架绕着所述晶圆组件的轴线相对所述第一连接件调整位置；吸附组件，与所述支架相接，所述支架和所述吸附组件之间设有第二调节结构，所述第二调节结构适于驱使所述吸附组件沿着所述晶圆组件的径向相对所述支架调整位置；其中，所述吸附组件数量为至少两个，且相对布置。本实用新型能够在晶圆组件的周向和径向调节吸附组件的位置，适配不同尺寸晶圆组件的同时，还能够便于适配定位机构。
主权项：1.一种晶圆级持置机构，用于取放晶圆组件200；其特征在于，包括：第一连接件110；支架120，与所述第一连接件110相接，所述支架120和所述第一连接件110之间设有第一调节结构，所述第一调节结构适于驱使所述支架120绕着所述晶圆组件200的轴线相对所述第一连接件110调整位置；吸附组件130，与所述支架120相接，所述支架120和所述吸附组件130之间设有第二调节结构，所述第二调节结构适于驱使所述吸附组件130沿着所述晶圆组件200的径向相对所述支架120调整位置；其中，所述吸附组件130数量为至少两个，且相对布置。
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百度查询： 苏州镭明激光科技有限公司 苏州镭明智造设备有限公司 晶圆级持置机构及运输装置
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