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探针夹具及探针插持设备 

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摘要:本发明公开了探针夹具及探针插持设备,所述探针夹具包括:位姿调整机构;吸嘴,所述吸嘴安装于所述位姿调整机构,所述位姿调整机构用于调整所述吸嘴的位置和角度;所述吸嘴用于吸附探针;所述位姿调整机构包括第一角度调节件、第二角度调节件以及支架;所述吸嘴安装于所述第二角度调节件,所述第二角度调节件能够调整所述吸嘴的角度;所述第二角度调节件安装于所述支架,所述支架安装于所述第一角度调节件,所述第一角度调整件能够带动所述支架、所述第二角度调节件以及所述吸嘴一起转动。所述探针夹具能够通过气动控制的方式,实现探针的吸取,并且能够自动调整探针的位置和角度,在探针抓取和移动的过程中不易对探针造成损坏。

主权项:1.探针夹具,其特征在于,包括:位姿调整机构;吸嘴,所述吸嘴安装于所述位姿调整机构,所述位姿调整机构用于调整所述吸嘴的位置和角度;所述吸嘴用于吸附探针;其中所述位姿调整机构包括第一角度调节件、第二角度调节件以及支架;所述吸嘴安装于所述第二角度调节件,所述第二角度调节件能够调整所述吸嘴的角度;所述第二角度调节件安装于所述支架,所述支架安装于所述第一角度调节件,所述第一角度调节件能够带动所述支架、所述第二角度调节件以及所述吸嘴一起转动;其中所述第一角度调节件用于调整所述吸嘴在第一平面内的角度,所述第二角度调节件用于调整所述吸嘴在第二平面内的角度,所述第一平面和所述第二平面之间具有预设夹角;其中所述支架包括第一延伸臂和第二延伸臂,所述第一延伸臂连接于所述第二延伸臂,并且所述第一延伸臂和所述第二延伸臂之间具有预设的夹角;所述第二角度调节件安装于所述第二延伸臂,所述第一延伸臂安装于所述第一角度调节件;其中所述第二角度调节件是第二旋转马达,所述吸嘴安装于所述第二旋转马达的动力输出轴,并且所述第二旋转马达安装于所述第二延伸臂;其中所述第一角度调节件是第一旋转马达,所述第一延伸臂安装于所述第一角度调节件的动力输出轴;其中所述吸嘴包括吸管、吸头以及进出接头,所述吸管的高端部安装于所述第二旋转马达的动力输出轴,所述吸头安装于所述吸管的低端部,所述进出接头安装于所述吸管的侧壁,并且所述吸管连通所述进出接头和所述吸头;其中所述吸头上具有吸附孔,供吸附所述探针。

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