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摘要：本发明涉及应用于晶圆热处理领域的一种用于晶圆的热处理装置，通过传送链条、多个从动齿轮以及与之啮合连接的啮合齿轮，能够带动置物托盘表面的多个放置框内的晶圆得以实现圆心至边缘位置的切换，进而在批量晶圆热处理时，能够实现晶圆在大直径圆形放置物表面的均匀受热处理，此外通过进气管提供的保护气流，配合拦截动条使用，能够对气流掀动作用下的晶圆起到有效的约束处理，保证晶圆在热处理过程中的有效限位，同时配合辅助管道，能够辅助放置框内的晶圆在接受保护气流的冲刷时，还能够凭借保护气流对内部的晶圆起到推动转动效果，使得晶圆在传送链条提供的公转作用下，还能够实现自转，进一步加强晶圆的受热均匀性。

主权项：1.一种用于晶圆的热处理装置，包括热处理炉（1），其特征在于：所述热处理炉（1）的内部设有环形的加热圈，所述热处理炉（1）的顶部安装有密封盖，所述密封盖的顶部中心处安装有驱动电机（3），所述驱动电机（3）的输出端连接有位于热处理炉（1）内的转动杆（6），所述转动杆（6）的表面固定套接有多个等距布置的齿轮组，且每个齿轮组由上下布置的两个啮合齿轮（8）组成，所述转动杆（6）的表面固定套接有与齿轮组间隔布置的置物托盘（4），且置物托盘（4）的直径小于热处理炉（1）的内径，每个齿轮组内的两个所述啮合齿轮（8）外侧均啮合连接有多个从动齿轮（9），与每个齿轮组上方的所述啮合齿轮（8）啮合的所述从动齿轮（9）的内部贯穿安装有底端与置物托盘（4）表面转动连接的一号轴架（11），与每个齿轮组下方的所述啮合齿轮（8）啮合的所述从动齿轮（9）的内部贯穿安装有底端与置物托盘（4）表面转动连接的二号轴架（12），所述一号轴架（11）和二号轴架（12）均传动连接有传送链条（5），所述传送链条（5）的顶部表面布置有多个放置框（10），通过传送链条（5）、多个从动齿轮（9）以及与之啮合连接的啮合齿轮（8），带动置物托盘（4）表面的多个放置框（10）内的晶圆得以实现圆心至边缘位置的切换；每个齿轮组内上方所述从动齿轮（9）与下方的从动齿轮（9）为错位布置；所述热处理炉（1）的顶部布置有对称布置的进气管（2）和抽吸泵（7），所述抽吸泵（7）的进气端贯穿延伸至密封盖的内顶壁，所述进气管（2）的直径小于置物托盘（4）外径与热处理炉（1）的内径差。

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