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摘要：本发明提供一种反应腔体内部气流速度检测装置，将气流检测装置设置于反应腔体内的加热器上，并与气流速度计算装置通信连接；利用气流检测装置中的导体滑动机构在气体流动作用下的移动引起电阻变化，进而通过气流检测装置的检测电路采集电流变化数据，并基于气体流速检测算法计算获得反应腔体内部局部气体流速。此装置能够直接、准确地测量反应腔体内部局部的气体流动速度，解决了现有技术无法精确控制和优化气体流动的问题，为半导体去胶工艺的精确控制和优化提供了有力支持。
主权项：1.一种反应腔体内部气流速度检测装置，其特征在于，所述装置包括：气流检测装置以及气流速度计算装置；其中，所述气流检测装置设置于反应腔体内的加热器上，与所述气流速度计算装置通信连接；所述气流检测装置，包括：导体滑动机构、固定电压电源以及电流表；所述导体滑动机构、固定电压电源以及电流表依次串联，形成检测电路；所述导体滑动机构，用于在反应腔内部气体流动时导体被带动在导轨上移动，引起导体滑动机构电阻变化，以使检测电路的电流变化；所述固定电压电源，用于为检测电路提供固定电压；所述电流表，用于实时采集检测电路的电流数据；所述气流速度计算装置，用于基于气体流速检测算法，根据电流表的电流数据计算获得反应腔体内部局部气体流速。
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百度查询： 上海邦芯半导体科技有限公司 反应腔体内部气流速度检测装置
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