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摘要：本发明提供了一种氮化铝真空探测器，可应用于半导体技术领域，包括：蓝宝石衬底；在蓝宝石衬底上沿第一方向依次叠置的氮化铝缓冲层、氮化铝外延层和n型铝镓氮层；氮化铝层、二氧化硅绝缘膜和第一金属接触层，沿第二方向并列设置于n型铝镓氮层远离蓝宝石衬底的一侧，其中第二方向垂直于第一方向；金属铂透明电极，设置于氮化铝层远离蓝宝石衬底的一侧；以及第二金属接触层，设置于金属铂透明电极远离蓝宝石衬底的一侧。通过选用金属铂（Pt）作为透明电极以提高对真空波段的光透过率，提高器件性能。本发明还提供了一种氮化铝真空探测器的制备方法。
主权项：1.一种氮化铝真空探测器，其特征在于，包括：蓝宝石衬底；在所述蓝宝石衬底上沿第一方向依次叠置的氮化铝缓冲层、氮化铝外延层和n型铝镓氮层；氮化铝层、二氧化硅绝缘膜和第一金属接触层，沿第二方向并列设置于所述n型铝镓氮层远离所述蓝宝石衬底的一侧，其中所述第二方向垂直于所述第一方向；金属铂透明电极，设置于所述氮化铝层远离所述蓝宝石衬底的一侧；以及第二金属接触层，设置于所述金属铂透明电极远离所述蓝宝石衬底的一侧。
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百度查询： 中国科学院半导体研究所 氮化铝真空探测器及其制备方法
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