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摘要：本发明涉及一种真空系统用气阀单元。所述阀单元包括：控制部，其感应外部排气空间的压力并输出电磁阀开关信号，从而能够主动对排出孔的空气供给及切断进行控制。另外，优选地，所述阀单元设置有多个贯通孔与电磁阀，通过所述控制部可以对各个贯通孔的出口开闭进行控制。例如，可以实现真空生成管路的增设或生成废除管路的并用等功能。
主权项：1.一种真空系统用气阀单元，其特征在于，包括：主体11，其包含：贯通孔12；线轴13，其在所述贯通孔12内沿轴向移动并开闭所述贯通孔12的出口12b开闭；第1流路16及第2流路18，从一侧空气供给口14开始分别向所述出口12b和线轴13一侧延长；电磁阀21，其设置在所述第2流路18中，对用于使所述线轴13移动的空气的供给及切断进行控制；控制部31，其包含：与外部排气空间S连接的压力感应传感器32和对所述传感器32的压力数据进行处理的电路部33，并基于所述数据输出电磁阀21的开关信号；所述空气供给口14在所述主体11的外面沿着互不相同的方向设置有多个并彼此连通，所述电磁阀21根据所述控制部31输出的开或关信号而打开或关闭，当所述“打开”时，通过第2流路18的空气就使所述线轴13移动，如果这时在线轴13的移动影响下所述出口12b开放，所述空气就通过第1流路16及出口12b排出，通过所述出口12b排出的空气高速通过另外配备的真空泵40的喷射器42，并对所述排气空间S进行吸入、排气，从而形成真空，所述贯通孔12以彼此连通的关系配备有多个，在这种情况下，与各个贯通孔12对应的多个电磁阀21通过所述控制部31进行整体或个别控制，至少有一个贯通孔12与延长至所述喷射器42的真空生成管路41连接，至少有另一个贯通孔12与延长至所述排气空间S的废除管路43连接，所述各条管路41、43在所述控制部31的各个电磁阀21控制下依次运转。
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