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摘要:本发明提供一种协同任务中天车运行异常处理方法及装置,属于晶圆搬运天车技术领域,本发明实施例的协同任务中天车运行异常处理方法,通过确定处于异常状态的目标天车是否在执行协同搬运任务,识别与目标天车协同工作的其他关联天车,通过对各关联天车位置及其终点处半导体设备工作状态的分析,协调各个关联天车的任务,有效地查找最合适的替换天车,可以降低替换天车在响应和执行任务时需要走的复杂路线,从而提高了整体效率,最大限度地提高了天车的利用率,进而使得天车系统具备更强的动态适应能力,能够在实际操作中根据故障情况及时调整,确保生产的连续性。
主权项:1.一种协同任务中天车运行异常处理方法,其特征在于,包括:确定处于异常状态的目标天车;确定所述目标天车是否在执行协同搬运任务;所述协同搬运任务包括接力搬运任务以及同步搬运任务;在所述目标天车为执行协同搬运任务的情况下,识别所述目标天车执行的执行协同搬运任务所关联的各关联天车,所述关联天车包括用于执行所述接力搬运任务的接力天车以及用于执行所述同步搬运任务的同步天车;基于各关联天车对应的搬运任务终点处的半导体设备的工作状态以及各关联天车的位置,从关联天车中查找用于接替所述目标天车工作的替换天车;基于所述目标天车以及所述替换天车的位置,控制所述替换天车接替所述目标天车执行搬运任务。
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百度查询: 华芯(嘉兴)智能装备有限公司 协同任务中天车运行异常处理方法及装置
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