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摘要：提供能够检测光偏转器根据镜部的摆动而输出的谐振传感器信号的异常的异常检测装置。异常检测装置检测光偏转器1的传感器部输出的谐振传感器信号的异常，其具有：谐振传感器信号处理部50，其具有将所述传感器部输出的所述谐振传感器信号AD转换为谐振传感器信号数据的功能、以及输出数据取得完成以及所述AD转换后的所述谐振传感器信号数据的功能；谐振传感器信号预测数据计算部133d4，其计算所述谐振传感器信号的预测数据；以及谐振传感器信号异常判定部133d5，其在所述镜部为谐振状态的情况下，对所述谐振传感器信号的预测数据与实际的谐振传感器信号数据进行比较，基于该比较的结果，检测所述谐振传感器信号的异常。

主权项：1.一种异常检测装置，其检测光偏转器的传感器部所输出的谐振传感器信号的异常，所述光偏转器具备：镜部；支承部，其支承所述镜部；至少一个致动器，其通过被施加谐振控制信号而使所述镜部相对于所述支承部绕摆动轴摆动；以及所述传感器部，其根据所述镜部的摆动而输出所述谐振传感器信号，其中，所述异常检测装置具备：数据取得定时生成部，其每隔一定周期输出数据取得请求；谐振传感器信号处理部，其具有每当接收到所述数据取得请求时将所述传感器部输出的所述谐振传感器信号AD转换为谐振传感器信号数据的功能、以及每当所述AD转换完成时输出数据取得完成以及所述AD转换后的所述谐振传感器信号数据的功能；相位变化量计算部，每当接收到所述数据取得请求时，所述相位变化量计算部计算相位变化量，所述相位变化量是施加于所述致动器的所述谐振驱动信号的相位与紧之前施加于所述致动器的所述谐振驱动信号的相位的差值；正交检波部，其取得所述传感器部输出的所述谐振传感器信号的振幅、以及所述谐振驱动信号与所述谐振传感器信号的相位差；谐振传感器信号预测相位计算部，每当接收到所述数据取得完成时，所述谐振传感器信号预测相位计算部基于所述相位变化量，计算所述谐振传感器信号的预测相位；谐振传感器信号预测数据计算部，每当接收到所述数据取得完成时，所述谐振传感器信号预测数据计算部基于所述谐振传感器信号的振幅、所述相位差以及所述预测相位，计算所述谐振传感器信号的预测数据；以及谐振传感器信号异常判定部，在所述镜部为谐振状态的情况下，所述谐振传感器信号异常判定部对所述谐振传感器信号的预测数据与实际的谐振传感器信号数据进行比较，基于该比较的结果，检测所述谐振传感器信号的异常。

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