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摘要:本发明公开了一种MOS辅助触发的低过冲DTSCR静电防护器件,包括:P衬底和在P衬底上依次设置的第一P阱、第一N阱、第二P阱、第二N阱和第三N阱;第一P阱与第一N阱相邻,第一N阱与第二P阱相邻,第二P阱和第二N阱间隔第六隔离沟槽,第二N阱和第三N阱间隔第八隔离沟槽;第一P阱和第一N阱设有NPN型和PNP型BJT,第二P阱设有NMOS,第二N阱设有二极管D1,第三N阱设有二极管D2;PNP型和NPN型BJT以及二极管D1和D2构成DTSCR;NMOS对其电流泄放路径进行分流,并将电流注入NPN型BJT的基极以加速其发射结导通。本发明能够有效提高DTSCR的导通速度和降低DTSCR的过冲电压。
主权项:1.一种MOS辅助触发的低过冲DTSCR静电防护器件,其特征在于,包括:P衬底和在所述P衬底上沿第一方向依次设置的第一P阱、第一N阱、第二P阱、第二N阱和第三N阱;所述第一方向平行于所述P衬底所在的平面;其中,所述第一P阱与所述第一N阱相邻,所述第一N阱与所述第二P阱相邻,所述第二P阱和所述第二N阱间隔第六隔离沟槽,所述第二N阱和所述第三N阱间隔第八隔离沟槽;在所述第一P阱和所述第一N阱上设有NPN型BJT和PNP型BJT,在所述第二P阱上设有NMOS晶体管,在所述第二N阱上设有二极管D1,在所述第三N阱上设有二极管D2;所述PNP型BJT、所述NPN型BJT、所述二极管D1和所述二极管D2构成DTSCR结构;所述NMOS晶体管用于对所述DTSCR结构的电流泄放路径进行分流,并将分流的电流注入所述NPN型BJT的基极以加速所述NPN型BJT的发射结导通。
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百度查询: 西安电子科技大学 一种MOS辅助触发的低过冲DTSCR静电防护器件
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