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摘要：本发明提供一种提高铝金属刻蚀速率的方法，采用高浓度氮气和其他刻蚀气体一起进行刻蚀，具体是在衬底上沉积金属铝层，并在表面涂覆光刻胶；采用BCl3、Cl2、N2的混合气体作为刻蚀气体对未覆盖光刻胶部分的金属铝层进行干法刻蚀，其中N2浓度为40～100sccm。经本发明实验验证，在氮气浓度超过常规实现钝化作用的10～20sccm后，进一步提高氮气浓度反而能够显著提升刻蚀速率，进而降低生产成本。本发明突破了以低浓度氮气作为钝化气体的常规认知，在金属铝层刻蚀中具有良好的应用前景。
主权项：1.一种提高铝金属刻蚀速率的方法，包括以下步骤：在衬底上沉积金属铝层，并在表面涂覆光刻胶；采用BCl3、Cl2、N2的混合气体作为刻蚀气体对未覆盖光刻胶部分的金属铝层进行干法刻蚀；其特征在于，其中N2浓度为40～100sccm。
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百度查询： 浙江大学 一种提高铝金属刻蚀速率的方法
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