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摘要:本发明提供了一种医用类石墨涂层及其制备方法,属于涂层技术领域。本发明提供了一种医用类石墨涂层的制备方法,包括以下步骤:分别对碳靶和钛靶进行第一非平衡磁控溅射,在基体表面形成过渡层;对碳靶和钛靶进行第二非平衡磁控溅射,在过渡层表面形成医用类石墨涂层;所述第二非平衡磁控溅射时:碳靶的功率为4kW,电流为6.7A;钛靶的功率为0~0.4kW,电流为0~1.52A。
主权项:1.一种医用类石墨涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:分别对碳靶和钛靶进行第一非平衡磁控溅射,在基体表面形成过渡层;对碳靶和钛靶进行第二非平衡磁控溅射,在过渡层表面形成医用类石墨涂层;所述第二非平衡磁控溅射时:碳靶的功率为4kW,电流为6.7A;钛靶的功率为0~0.4kW,电流为0~1.52A。
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