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摘要:本发明公开了一种新型石墨坩埚,包括主体,主体包括若干数量分割机构,分割机构的数量最少为2个,分别为一号分割机构和二号分割机构,一号分割机构是可以分割的,包括顶层主体和中间层主体,顶层主体和中间层主体之间设有防泄漏机构,顶层主体的下部形成了连接部,中间层主体下部形成了连接部,中间层主体上部形成了结合槽,连接部可以直接插接到结合槽内,顶层主体上端设有氮气供应部,中间层主体与二号分割机构之间设有防泄漏机构,二号分割机构上部设有结合槽,二号分割机构靠近底端设有排放口,将主体分割成多个结合在一起,在部分主体发生损坏的情况下,只需更换部分主体,而不是整个坩埚,具有降低使用成本的效果。
主权项:1.一种新型石墨坩埚,其特征在于,包括主体(100),所述主体(100)包括若干数量分割机构,所述分割机构的数量最少为2个,分别为一号分割机构(110)和二号分割机构(120),所述一号分割机构(110)是可以分割的,包括顶层主体(130)和中间层主体(140),所述顶层主体(130)和中间层主体(140)之间设有防泄漏机构(180),所述顶层主体(130)的下部形成了连接部(160),所述中间层主体(140)下部形成了连接部(160),所述中间层主体(140)上部形成了结合槽(170),所述连接部(160)可以直接插接到结合槽(170)内,所述顶层主体(130)上端设有氮气供应部(190),所述中间层主体(140)与二号分割机构(120)之间设有防泄漏机构(180),所述二号分割机构(120)上部设有结合槽(170),所述二号分割机构(120)靠近底端设有排放口(150)。
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