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摘要:本申请涉及对准设备。对准设备,包括:支承衬底,其上形成有第一对准标记;以及晶片,在对准到第一对准标记的同时安装在支承衬底上。第一对准标记包括在第一方向上延伸的第一标记、在第二方向上延伸并且在第一标记的一侧处与第一标记相交的第二标记、以及在第二方向上延伸并且在第一标记的另一侧处与第一标记相交的第三标记。
主权项:1.对准设备,其特征在于,包括:支承衬底,其上形成有第一对准标记;以及晶片,在对准到所述第一对准标记的同时安装在所述支承衬底上,其中,所述第一对准标记包括:第一标记,在第一方向上延伸;第二标记,在第二方向上延伸,并且在所述第一标记的一侧处与所述第一标记相交;以及第三标记,在所述第二方向上延伸,并且在所述第一标记的另一侧处与所述第一标记相交。
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