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摘要：本发明提供了一种基于玻璃衬底的交叉线阳极、成像探测器及交叉线阳极的制备方法，用于解决现有的交叉线阳极信号传输较慢，且采用半导体工艺制备时阳极条带均匀性不好，进而导致图像畸变影响空间分辨率，或者采用光刻技术时光刻设备极其昂贵，对实验环境和操作步骤要求都较高的技术问题。本发明的交叉线阳极，上层阳极衬底和下层阳极衬底均采用硼化硅玻璃制备，同时在横向条带和纵向条带表面覆有金属层，以实现电子接收，有效提高了信号传输速率，既可以保障探测器在复杂的太空环境下长时间工作，又能够保护器件不受外界干扰，在实现高空间分辨率和时间分辨率的前提下，增大了动态范围，提高了探测效率，且增益更高更均匀。
主权项：1.一种基于玻璃衬底的交叉线阳极，包括上层阳极衬底1和下层阳极衬底2，其特征在于：所述上层阳极衬底1和下层阳极衬底2均采用硼化硅玻璃制备；所述上层阳极衬底1上表面等间距设置有2n个横向条带3，n≥3；相邻两个横向条带3之间开设有横向通孔5，或者，每个横向条带3的左侧或右侧开设有横向通孔5；所述下层阳极衬底2上表面等间距设置有2n个纵向条带4，n≥3；相邻两个纵向条带4之间开设有纵向通孔6，或者，每个纵向条带4的左侧或右侧开设有纵向通孔6；2n个所述横向条带3和2n个纵向条带4的上表面均覆有金属层；所述上层阳极衬底1的下表面与下层阳极衬底2的上表面固连，且2n个横向条带3与2n个纵向条带4相互垂直设置；2n个所述横向条带3上金属层的总面积等于2n个纵向条带4上未被上层阳极衬底1遮挡的金属层的总面积。
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百度查询： 中国科学院西安光学精密机械研究所 基于玻璃衬底的交叉线阳极、成像探测器及交叉线阳极的制备方法
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