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摘要：本发明公开用于制造单晶硅锭的方法。所述锭使用固相硼酸作为硼源用硼进行掺杂。硼酸可在锭生长期间用于反向掺杂所述锭。还公开使用固相掺杂物的拉锭器设备。所述固相掺杂物可经安置在经移动而更靠近熔融物的表面的容器中，或蒸发单元可用于从所述固相掺杂物制造掺杂物气体。
主权项：1.一种用于从固持在坩埚内的硅熔融物制造单晶硅锭的方法，所述方法包括：将多晶硅加入到所述坩埚，所述坩埚经安置在拉锭器内腔室内；加热所述多晶硅以致使硅熔融物在所述坩埚中形成；从所述硅熔融物抽取单晶硅锭；提供固相硼酸源；从所述固相硼酸制造含硼气体；及使所述含硼气体接触所述熔融物的表面以致使硼作为掺杂物进入所述熔融物同时从所述熔融物抽取所述单晶硅锭。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 环球晶圆股份有限公司 使用硼酸为掺杂物的单晶硅锭的制造方法及使用固相掺杂物的拉锭器设备
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