龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明公开了一种便于限位晶圆的锁紧式晶舟盒，涉及晶圆加工技术领域，用于解决晶圆取出时，由于摆脱两侧晶舟盒锁定，容易因夹取不稳定造成晶圆掉落的问题，同时晶舟盒内的晶圆会在盒体移动过程中出现滑动问题；本发明是通过在盒体内侧轨板上进行多组移动限位机构安装，进行抽拉式晶圆上下料，相比较固定结构的晶舟盒，确保晶圆取出时的平稳与安全，同时连同晶圆以及存放板一同推入盒体内时，位于滑块二上的T型杆转动带动转轴转动，使得位于转轴上套设的限位块完成对存放板表面晶圆外壁抵接，从而将晶圆固定在存放板内，配合盒体外侧密封板对存放板抵接，实现盒体移动搬运时更为稳定地存放。
主权项：1.一种便于限位晶圆的锁紧式晶舟盒，包括盒体（1）和密封板（3），所述盒体（1）的通料侧安装有密封板（3），其特征在于，所述盒体（1）的两侧内壁一体成型均匀设置有侧轨块（4），所述盒体（1）内且位于同一高度的侧轨块（4）相对面滑动连接有移动限位机构（5）；所述侧轨块（4）的相对面通过螺栓均匀固定有限位板二（6），所述限位板二（6）上开设有槽口二（7）；所述移动限位机构（5）包括滑块一（501）、滑块二（503）和T型杆（504），所述侧轨块（4）的一侧滑动连接有滑块一（501），所述滑块一（501）的侧面槽道内滑动连接有滑块二（503），所述滑块一（501）的一侧通过螺栓固定有限位板一（502），所述限位板一（502）上开设有槽口一（505），所述滑块二（503）内侧活动连接有T型杆（504），所述T型杆（504）上两侧活动滚轮分别与槽口一（505）和槽口二（7）对应设置；两个所述滑块一（501）的相对面固定连接有存放板（10），所述存放板（10）上固定有隔条。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 兴宇宏半导体科技(苏州)有限公司 一种便于限位晶圆的锁紧式晶舟盒
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号