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摘要：本发明涉及一种Ag基有机配位纳米颗粒及其制备方法、光刻胶组合物及其应用，其中，Ag基有机配位纳米颗粒，通式为：[AgmRnQx]y，其制备方法是将银盐和第一有机配体分别加入样品瓶中，加入有机溶剂将其溶解，一定温度条件下搅拌一定时间，过滤，浓缩，降温结晶或蒸发结晶，最后在有机溶剂中重结晶得到Ag基有机配位纳米颗粒，该纳米颗粒组合物可以作为电子束、中紫外、深紫外、EUV光刻胶。
主权项：1.一种Ag基有机配位纳米颗粒，其特征在于，通式为：[AgmRnQx]y，m、n、x、y的范围均为1-4；其中，R选自双二苯基膦甲烷dppm，双二环己基膦甲烷缩写dcpm，双二苯基氨基甲烷，N,N-双二苯磷胺缩写dppa，N,N,N',N'-四甲基二氨基甲烷，N,N,N',N'-四乙基二氨基甲烷；Q选自CH3COO，C2H5COO，C3H7COO，i-C3H7COO，C4H9COO，C6H13COO，C9H19COO，C6H5COO，CF3COO，C2F5COO，C3F7COO，i-C3F7COO，C4F9COO，C6F13COO，C9F19COO，C6H5COO。
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百度查询： 华睿芯材(无锡)科技有限公司 一种Ag基有机配位纳米颗粒及其制备方法、光刻胶组合物及其应用
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