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摘要:本发明公开了新型喷涂封装工艺,属于芯片喷涂封装技术领域,包括如下步骤:将制造好的裸芯片准备好,在裸芯片上均匀涂抹一层光刻胶;使用光刻机对光刻胶进行曝光,通过掩模将所需的图案投射到光刻胶上;去除未固化的光刻胶部分,形成所需的开窗图案;在开窗区域喷涂塑胶,喷涂完成后,对塑胶进行固化处理,使其硬化并牢固地附着在芯片上;去除剩余的光刻胶,进行后续的封装和测试。本发明的减少了热压合模过程中产生的应力对芯片的潜在伤害,减少了键合偏移的问题,通过光刻胶引导的开窗位置减少了溢胶的情况,方便进行下一步的Trimming操作,省略了去除注塑口的步骤,进一步降低了对芯片的潜在伤害,这些改进提高了封装的质量和可靠性。
主权项:1.新型喷涂封装工艺,其特征在于:包括如下步骤:S1、将制造好的裸芯片准备好,在裸芯片上均匀涂抹一层光刻胶;S2、使用光刻机对光刻胶进行曝光,通过掩模将所需的图案投射到光刻胶上;S3、去除未固化的光刻胶部分,形成所需的开窗图案;S4、在开窗区域喷涂塑胶,喷涂完成后,对塑胶进行固化处理,使其硬化并牢固地附着在芯片上S5、去除剩余的光刻胶,进行后续的封装和测试。
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百度查询: 日月新半导体(昆山)有限公司 新型喷涂封装工艺
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