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摘要:提供一种包括形成有氧化电极层的IDT电极的表面声波器件及制造方法。所述表面声波器件包括压电基板和形成在所述压电基板上的多个IDT电极,其中,所述多个IDT电极中的每一个包括:主电极层,其形成在所述压电基板上表面;上电极层,其形成在主电极层上;以及氧化电极层,其通过上电极层的氧化而在所述上电极层的上表面上形成,其中,所述多个IDT电极中的每一个的厚度te相对于所述氧化电极层的厚度to满足0.011≤tote≤0.333。
主权项:1.一种表面声波器件,其特征在于,包括:压电基板;以及多个IDT电极,其形成在所述压电基板上,其中,所述多个IDT电极中的每一个包括:主电极层,其形成在所述压电基板上表面;上电极层,其形成在主电极层上;以及氧化电极层,其通过上电极层的氧化而在所述上电极层的上表面上形成,其中,所述多个IDT电极中的每一个的厚度te相对于所述氧化电极层的厚度to满足0.011≤tote≤0.333。
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百度查询: 天津威盛电子有限公司 包括形成有氧化电极层的IDT电极的表面声波器件及制造方法
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