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一种用于激光加工的光斑整形装置 

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申请/专利权人:帝尔激光科技(无锡)有限公司

摘要:本申请提出一种用于激光加工的光斑整形装置,包括沿光路行进方向依次设置的微透镜阵列、扩束系统和扫描聚焦系统;经所述微透镜阵列整形后的光束以全发散角θ射出,所述全发散角θ=0.03°~2.0°;所述扩束系统包括扩束镜,所述扩束镜的倍率M=0.1~10;经所述扫描聚焦系统扫描和聚焦后得到平顶光斑,所述平顶光斑的尺寸D=0.1~2.0mm。其尺寸较小,可适用于较多的应用场景,且得到的方形平顶光斑均匀性高,不易对电池片造成损伤,光斑重叠区域不易出现过处理或处理不足的问题。

主权项:1.一种用于激光加工的光斑整形装置,其特征在于,包括沿光路行进方向依次设置的微透镜阵列1、扩束系统2和扫描聚焦系统;经所述微透镜阵列1整形后的光束以全发散角θ射出,所述全发散角θ=0.03°~2.0°;所述扩束系统2包括扩束镜,所述扩束镜的倍率M=0.1~10;经所述扫描聚焦系统扫描和聚焦后得到方形的平顶光斑5,所述平顶光斑5的尺寸D=0.1~2.0mm。

全文数据:

权利要求:

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