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申请/专利权人：浜松光子学株式会社
摘要：激光加工装置具备有支撑部、光源、空间光调制器、聚光部及控制部。控制部，以激光被分支成包含0级光的多个加工光，且多个加工光的多个聚光点在Z方向及X方向的各自的方向上位于互相不同的部位的方式，控制空间光调制器，并且，以X方向与线的延伸方向一致，且多个聚光点沿着线相对地移动的方式，控制支撑部及聚光部中的至少一方。控制部，以在Z方向上，0级光的聚光点，相对于0级光的理想聚光点位于激光的非调制光的聚光点的相反侧、或相对于非调制光的聚光点位于0级光的理想聚光点的相反侧的方式，控制空间光调制器。
主权项：1.一种激光加工装置，其中，是通过对对象物照射激光，在所述对象物形成改性区域的激光加工装置，所述激光加工装置具备：支撑部，其将具有第1表面及所述第1表面的相反侧的第2表面的所述对象物，以所述第2表面与Z方向正交的方式进行支撑；光源，其出射所述激光；空间光调制器，其对自所述光源出射的所述激光进行调制；聚光部，其将由所述空间光调制器调制的所述激光自所述第2表面侧聚光于所述对象物；以及控制部，其以所述激光分支成包含0级光的多个加工光，且所述多个加工光的多个聚光点在所述Z方向及与所述Z方向垂直的X方向的各自的方向上位于互相不同的部位的方式，控制所述空间光调制器，并且，以所述X方向与沿着所述第2表面延伸的线的延伸方向一致，且所述多个聚光点沿着所述线相对地移动的方式，控制所述支撑部及所述聚光部中的至少一方，所述控制部，以在所述Z方向上，所述0级光的聚光点，相对于所述0级光的理想聚光点位于所述激光的非调制光的聚光点的相反侧、或相对于所述非调制光的所述聚光点位于所述0级光的所述理想聚光点的相反侧的方式，控制所述空间光调制器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浜松光子学株式会社 激光加工装置及激光加工方法
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