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申请/专利权人：华海清科(北京)科技有限公司
摘要：本发明公开了一种抛光液供给装置和化学机械抛光设备，其中抛光液供给装置包括：转轴，其连接驱动机构以实现双向的自动旋转；基座组件，套设于所述转轴的外周侧，起到支撑固定作用；摆臂，其连接于所述转轴的顶部并可由转轴驱动实现双向摆动；抛光液供给管，其经由所述转轴向上延伸并沿所述摆臂的长度方向设置；限位组件，用于在工作位和维护位限定所述摆臂的位置；标尺机构，用于在所述摆臂位于工作位时指示由所述抛光液供给管流下的抛光液落点的位置信息。
主权项：1.一种抛光液供给装置，其特征在于，包括：转轴，其连接驱动机构以实现双向的自动旋转；基座组件，套设于所述转轴的外周侧，起到支撑固定作用；摆臂，其连接于所述转轴的顶部并可由转轴驱动实现双向摆动；抛光液供给管，其经由所述转轴向上延伸并沿所述摆臂的长度方向设置；限位组件，用于在工作位和维护位限定所述摆臂的位置；标尺机构，用于在所述摆臂位于工作位时指示由所述抛光液供给管流下的抛光液落点的位置信息；所述标尺机构包括分别设于所述摆臂和基座组件上的指示线和刻度线，所述刻度线标记的落点范围为100mm-160mm，所述指示线有多个，用于与所述刻度线结合，分别对多路抛光液落点的位置进行标记；所述限位组件包括用于在工作位限定所述摆臂的第一限位机构和用于在维护位限定所述摆臂的第二限位机构；所述转轴的顶部具有向外延伸的悬臂，所述基座固定在安装平台上；所述第一限位机构包括定位件和落点调节件，所述定位件固定于所述基座组件的顶部，所述落点调节件与所述悬臂连接；所述落点调节件为可旋进旋出的螺杆，其与所述定位件接触的一端为弧形，通过调整螺杆连接的悬臂距离定位件的距离，能够改变摆臂的旋转角度；所述第二限位机构为定位销，设置在基座组件的顶部，用于与设置有所述落点调节件的所述悬臂贴紧。
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