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申请/专利权人：中微半导体设备(上海)股份有限公司
摘要：本发明提供了一种绝缘窗及其控制方法、及等离子体处理装置，通过在绝缘窗上设置加热装置和半导体制冷器，实现了对绝缘窗温度的均一控制，半导体制冷器可以有效降低窗中心的温度，另外，半导体制冷器可以实现加热和冷却双重功能。
主权项：1.一种绝缘窗，其用于等离子体处理装置，其特征在于：包括：窗主体，所述窗主体具有内部区域和围绕内部区域的至少一部分的外部区域；温度控制装置，其包括加热装置和区域温控装置；所述加热装置至少位于所述窗主体的外部区域；所述区域温控装置位于所述窗主体的内部区域，其中，区域温控装置为半导体制冷器，所述半导体制冷器用于在等离子体产生之前对所述窗主体预加热，还用于在等离子体产生时对窗主体冷却；所述半导体制冷器包括多个制冷单元，预加热中工作的所述制冷单元和加热装置共同符合功率密度沿着径向向中心减小的趋势，且工作的所述制冷单元之间的周向间距相同。
全文数据：
权利要求：
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