龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供一种等离子体处理装置，其包括：处理容器；以及多个气体喷嘴，其从构成上述处理容器的顶壁和或侧壁伸出，具有对上述处理容器内供给气体的气体供给孔，多个上述气体喷嘴具有扩径部，该扩径部在多个上述气体喷嘴的气体供给孔的前端从上述气体供给孔的细孔扩大，在处理空间开口。本发明能够在气体喷嘴防止异常放电。
主权项：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：处理容器；中心微波透射板，其设置于构成所述处理容器的顶壁的中央；外侧微波透射板，其以包围所述中心微波透射板的方式设置于所述顶壁；以及多个气体喷嘴，其从所述顶壁伸出，具有对所述处理容器内供给气体的气体供给孔，多个所述气体喷嘴具有扩径部，该扩径部在多个所述气体喷嘴的气体供给孔的前端从所述气体供给孔的细孔扩大，在处理空间开口，由此，成为在所述处理空间开口的凹坑结构，多个所述气体喷嘴具有与伸出方向垂直的面的形状为椭圆或者流线型的部分，多个所述气体喷嘴的所述椭圆的长轴方向或者所述流线型的顶点方向的直线在所述顶壁的中心点交叉，多个所述气体喷嘴在周向上等间隔地配置在所述外侧微波透射板与所述中心微波透射板之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 等离子体处理装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号